メレスグリオ株式会社
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透過参照平面

Fiseau lens

  • λ/50(P-V@632.8 nm)以上の面精度
  • スクラッチ&ディグ10-5の表面品位
  • 101.6 mm(4インチ)および152.4 mm(6インチ)の開口径
  • Zygo®バヨネットタイプのマウントに互換
  • アルマイト処理されたアルミニウム製のボディ
  • 保管用ケースと面精度のデータが付属

メレスグリオのアブソリュートフィゾー 透過参照平面は、測定時における参照波面の保存、操作、減算を行う事無しに、Zygo®タイプの表面および波面検査用フィゾー干渉計の絶対精度をλ/50(P-V@632.8 nm)に高める事ができます。参照波面の減算を用いる場合には、絶対精度はλ/50(P-V)よりも大きくなります。アブソリュートフィゾー 透過参照平面および参照平面の製造には、先進の磁性流体研磨法(MRF®)とスティッチング測定法(SSI®)を用いています。

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アブソリュートフィゾー λ/50 透過参照平面
面精度
(P-V@632.8 nm)
開口径
(mm)
製品番号
λ/50101.6(4 インチ)09 LTF 400/123
λ/50152.4(6 インチ)09 LTF 600/123
仕様:アブソリュートフィゾーλ/50 透過参照平面
製品番号09 LTF 400/12309 LTF 600/123
動作波長1632.8 nm
有効径 CA(mm)101.6152.4
S1面の平面度2λ/50(632.8 nmにおけるP-V値)
S1面の表面品位10-5スクラッチ&ディグ
S1面のコーティング3コートなし(反射率:〜4%)
S2面の処理V-コーティング(632.8 nm用)、不要なフリンジを阻止するウェッジ処理
硝材フューズドシリカ
ハウジングの材質アルマイト処理されたアルミニウム
マウント方式Zygo®バヨネットタイプ
重量(kg)2.03.7

1 他の波長用に最適化された参照平面もご用意できます
2 水平および垂直双方向の配置における保証値
3 部分反射コーティングを施す事もできます

Zygo® はZygo社の登録商標です。
MRF® およびSSI® は、QED テクノロジー社の登録商標です。

λ/20透過参照平面

透過参照平面は、フィゾー干渉計にマウントし平面基板の測定を行います。これは、平面の不均一性がλ/20(P-V)よりも小さいフューズドシリカ製の素子です。

透過参照平面は、産業界の標準であるφ101.6 mm またはφ50.8 mmのバヨネットマウントに取り付け可能な丈夫なハウジングに収められています。

仕様:透過参照平面

光学材質フューズドシリカ
面精度λ/20(P-V@632.8 nm)
表面品位20-10 スクラッチ&ディグ
減反射コーティング参 照 面 :コート無し
ウェッジ面:R≦0.25 %@632.8 nm
ハウジング黒色アルマイト処理されたバヨネットマウント

透過参照平面

面精度
(P-V@632.8 nm)  
開口径
(mm)   


製品番号

λ/2050.8TF-50.8
λ/20101.6TF-101.6
z23_3a

09 LTF x00/123 透過参照平面


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