メレスグリオ株式会社
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オプティカルフラット

optical flats

メレスグリオのオプティカルフラットは、ナトリウムランプのような単色光源と共に用いて、他の光学素子の表面精度の評価に使用します。

  •     製品の光学材料として2種類あり、どちらも非常に優れた透明度でフリンジがはっきりと目視可能。パイレックスは廉価な材料で1 面のみの使用に向き、合成フューズドシリカは、より精度の必要とされる両面検査用に向く。
  •    個々のフラットは、正確なフリンジパターンが得られるように、第1面がλ/20という厳しい面精度
  •    第2 面の減反射コーティングはオプションです。 1 面のみ標準面のパイレックス製品を選択して製品番号に適当なコーティング添数を付記して下さい。コーティングオプション については、「コーティングの特性」の章を参照してください。
  •     合成フューズドシリカ製のフラットは、両面ともλ/20の高精度に磨き上げており、パイレックス製の2倍長く 使用可能

2つの面の仕上げが異なる場合には、外周の砂擦り部に矢印が第1面(λ/20 )の方向に向けてマークされています。個々のフラットは、硬質の保護木箱に収納されています。

大きな直径のもの、高フィネスのもの、またはウェッジつきのフラットなどの特注にもお応えいたします。

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仕様:オプティカルフラット
平面度下記表参照(633 nm で有効径内での値)
光学材質コーニング 7740 パイレックス®(α=3.2×10−6/℃)
合成フューズドシリカ(α=0.5×10−6/℃)
有効径直径の80 %
直径の公差φ±1.0 mm
厚みの公差t±1.0 mm
表 面品位60-40 スクラッチ&ディグ
オプティカルフラット
φ
(nm)
厚み
t (mm)
平面度
第 1 面第 2 面
材質有効径
CA (mm)
製品番号
256λ/20パイレックス®20
02 FPS 003
5010λ/20パイレックス®40
02 FPS 007
256
λ/20λ/20合成フューズドシリカ20
02 FQD 003
5010λ/20λ/20合成フューズドシリカ40
02 FQD 007
75
14
λ/20λ/20合成フューズドシリカ60
02 FQD 011
100
19
λ/20λ/20合成フューズドシリカ8002 FQD 015

アプリケーションノート

オプティカルフラットによる表面検査

オプティカルフラットは、その第1面を被験光学部品に密着させて検査します。フラットと被験物体面との間の空隙で生じる干渉 パターンは、被験物体を通して見るよりもフラットを通して観察する方がよく見えます。干渉パターンは明るい縞(フリンジ)と 暗い縞の繰り返しで、空隙の厚みの等高線を形成します。

等高線間隔(隣接する明るい縞と暗い縞の間の距離に相当)は、1/2波長の光学距離長に対応します。被験面が球面の場合には、 フリンジのパターンから簡単に曲率半径を割り出すことができます。

このような用途には、フラットの第2面に減反射コーティングを施すとさらに見易くなります。
フラットというものは、長年にわたって使い古されていくものですので、片面が基準面のタイプの2倍長持ちする両面が基準面の フラットも、メレスグリオは販売しております。

ウェッジ付きフラット

レーザーを照明光に使う場合は、ウェッジ付きフラットをお勧めします。レーザーのコヒーレンス長がフラットの厚みよりずっと 長いと、干渉効果が空隙部分に限定されなくなります。ウェッジ付きフラットは、被験物体面とフラットの上側の面との間及び フラットの上下の面の間の干渉フリンジの発生を抑制します。

コーティング付きオプティカルフラット

標準面のみですが、特注扱いで、1/4波長の厚みの二酸化チタンの高耐久性の高反射膜をつけることも可能です。このオプションコーティングにより、フラッ トの耐久性が増すだけではなく、フィネスが相当大きくなり、ぎらつきが減少して干渉フリンジが非常に見易くなります。合成フューズドシリカ製フラット 1/4波長の二酸化チタンの単層膜を付けると、0゜ から60゜ の入射角度に対して反射率が35%以上になります。それに対応して相乗平均値とフリンジのシャープさも増加します。

z23_15a

コーティングの種類とオプティカルフラットの反射率


z23_15b

8 mm厚のパイレックス®の標準的な外部透過率


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