メレスグリオ株式会社
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参照平面

Fiseau lens

  • λ/50(P-V@632.8 nm)を上回る参照面の面精度
  • スクラッチ&ディグ10-5の表面品位
  • 参照平面はフューズドシリカ製
  • 101.6 mm(4インチ)および152.4 mm(6インチ)
        の開口径
  • Zygo®バヨネットタイプのマウントに互換
  • アルマイト処理されたアルミニウム製のボディ
  • 保管用ケースと面精度のデータが付属

メレスグリオのアブソリュートフィゾー 参照平面は、測定時における参照波面の保存、操作、減算を行う事無しに、Zygo®タイプの表面および波面検査用フィゾー干渉計の絶対精度をλ/50(P-V@632.8 nm)に高める事ができます。参照波面の減算を用いる場合には、絶対精度はλ/50(P-V)よりも大きくなります。アブソリュートフィゾー 透過参照平面および参照平面の製造には、先進の磁性流体研磨法(MRF®)とスティッチング測定法(SSI®)を用いています。

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アブソリュートフィゾー λ/50 参照平面
面精度
(P-V@632.8 nm)
開口径
(mm)
製品番号
 λ/50 107.0 09 LRF 400
 λ/50 158.0 09 LRF 600
仕様:アブソリュートフィゾーλ/50 参照平面
製品番号09 LRF 40009 LRF 600
動作波長1632.8 nm
有効径 CA(mm)107158
S1面の平面度λ/50(632.8 nmにおけるP-V値)
S1面の表面品位10-5スクラッチ&ディグ
S1面のコーティングコートなし
S2面の処理粗摺処理
硝材フューズドシリカ
ハウジングの材質アルマイト処理されたアルミニウム
マウント方式 Zygo®バヨネットタイプ
重量(kg) 2.4 4.4

1 水平および垂直双方向の配置における保証値
Zygo®はZygo社の登録商標です。
MRF®およびSSI®は、QED テクノロジー社の登録商標です。

λ/20 参照平面

参照平面は、ミラーのように使用します。CVIメレスグリオの参照平面は、平面の不均一性がλ/20(P-V)よりも小さいZerodur®製の素子です。

参照平面は、産業界の標準であるφ101.6 mmまたはφ50.8 mmのバヨネットマウントに取り付け可能な丈夫なハウジングに収められています。


仕様:参照平面
光学材質Zerodur
面精度λ/20(P-V@632.8 nm)
表面品位20-10 スクラッチ&ディグ
減反射コーティング全ての面にコート無し
ハウジング黒色アルマイト処理されたバヨネットマウント
参照平面
面精度
(P-V@632.8 nm)
開口径
(mm)
製品番号
λ/2050.8RF-50.8
λ/20101.6RF-101.6
z23_4

09 LRF x00 参照平面


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