|
平面度
(@632.8nm) |
□
(mm) |
t
(mm) |
基板材料 |
製品番号 |
|
3λ
（25mmあたり） |
5.0
10.0
12.5
25.0
50.0
75.0
100.0
150.0
200.0 |
1
1
1
1
3
3
3
6
6 |
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown |
01MFG001/011
01MFG003/011
01MFG005/011
01MGF007/011
01MFG011/011
01MFG013/011
01MFG015/011
01MFG017/011
01MFG019/011 |
|
| λ/4 |
12.5
25.0
38.0
50.0
75.0
100.0 |
6
6
10
10
14
14 |
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG |
02MFG000/011
02MFG001/011
02MFG003/011
02MFG005/011
02MFG007/011
02MFG009/011 |
|
| λ/10 |
12.5
12.5
25.0
25.0
38.0
50.0
50.0 |
6
6
6
6
10
10
10 |
LEBG
Silica
LEBG
Silica
LEBG
LEBG
Silica |
02MPG002/011
02MPQ002/011
02MPG001/011
02MPQ001/011
02MPG003/011
02MPG005/011
02MPQ005/011 |
|
| λ/20 |
12.5
12.5
12.5
25.0
25.0
25.0
50.0
50.0
50.0 |
6
6
6
6
6
6
10
10
10 |
Silica
ZERODUR
ZERODUR
Silica
ZARODUR
ZARODUR
Silica
ZERODUR
ZERODUR |
02MLQ001/011
02MLE001/011
02MLE019/011
02MLQ003/011
02MLE003/011
02MLE021/011
02MLQ007/011
02MLE007/011
02MLE023/011 |
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基板を再加工すると、再加工前に比べて平面度が劣化します。
特別な寸法形状の基板で、しかもλ/ 10 以上の面精度を要求する場合は、特注生産になります。 |
