|
平面度
(@632.8nm) |
φ
(mm) |
t
(mm) |
基板材料 |
製品番号 |
|
3λ
（25mmあたり） |
6.4
12.5
25.0
50.0
75.0
100.0 |
1
1
1
3
3
3 |
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
|
01MFG021/011
01MFG023/011
01MFG033/011
01MGF027/011
01MFG028/011
01MFG030/011 |
|
| λ/4 |
12.5
25.0
30.0
38.0
50.0
75.0
100.0 |
6
6
6
10
10
14
14 |
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
|
02MFG014/011
02MFG015/011
02MFG016/011
02MFG017/011
02MFG019/011
02MFG021/011
02MFG023/011 |
|
| λ/10 |
12.5
12.5
25.0
25.0
30.0
38.0
50.0
50.0
60.0
100.0
100.0 |
6
6
6
6
6
10
10
10
10
19
19 |
LEBG
Silica
LEBG
Silica
LEBG
LEBG
LEBG
Silica
LEBG
LEBG
Silica
|
02MPG006/011
02MPQ013/011
02MPG007/011
02MPQ007/011
02MPG012/011
02MPG009/011
02MPG011/011
02MPQ011/011
02MPG016/011
02MPG017/011
02MPQ017/011 |
|
| λ/20 |
12.5
12.5
25.0
25.0
30.0
50.0
50.0
100.0
100.0 |
6
6
6
6
6
10
10
19
19 |
Silica
ZERODUR
Silica
ZERODUR
Silica
Silica
ZERODUR
Silica
ZERODUR |
02MLQ009/011
02MLE009/011
02MLQ011/011
02MLE011/011
02MLQ012/011
02MLQ015/011
02MLE015/011
02MLQ017/011
02MLE017/011 |
|
|
基板を再加工すると、再加工前に比べて平面度が劣化します。
特別な寸法形状の基板で、しかもλ/ 10 以上の面精度を要求する場合は、特注生産になります。 |
