|
平面度
(@632.8nm) |
□
(mm) |
t
(mm) |
基板材料 |
製品番号 |
|
3λ
（25mmあたり） |
5.0
10.0
12.5
25.0
50.0
75.0
100.0 |
1
1
1
1
3
3
3 |
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
|
01MFG001/023
01MFG003/023
01MFG005/023
01MFG007/023
01MFG011/023
01MFG013/023
01MFG015/023 |
|
| λ/4 |
12.5
25.0
38.0
50.0
75.0
100.0 |
6
6
10
10
14
14 |
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG |
02MFG000/023
02MFG001/023
02MFG003/023
02MFG005/023
02MFG007/023
02MFG009/023 |
|
| λ/10 |
12.5
12.5
25.0
25.0
38.0
50.0
50.0 |
6
6
6
6
10
10
14 |
LEBG
Silica
LEBG
Silica
LEBG
LEBG
Silica |
02MPG002/023
02MPQ002/023
02MPG001/023
02MPQ001/023
02MPG003/023
02MPG005/023
02MPQ005/023 |
|
| λ/20 |
12.5
12.5
12.5
25.0
25.0
25.0
50.0
50.0
50.0 |
6
6
6
6
6
6
10
10
10 |
Silica
ZERODUR
ZERODUR
Silica
ZERODUR
ZERODUR
Silica
ZERODUR
ZERODUR |
02MLQ001/023
02MLE001/023
02MLE019/023
02MLQ003/023
02MLE003/023
02MLE021/023
02MLQ007/023
02MLE007/023
02MLE023/023 |
|
| 基板を再加工すると、再加工前に比べて平面度が劣化します。
特別な寸法形状の基板で、しかもλ/ 10 以上の面精度を要求する場合は、特注生産になります。 |
