|
平面度
(@632.8nm) |
□
(mm) |
t
(mm) |
基板材料 |
製品番号 |
|
3λ
（25mmあたり） |
5.0
10.0
12.5
25.0
50.0
75.0
100.0 |
1
1
1
1
3
3
3 |
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown
Crown |
01MFG001/028
01MFG003/028
01MFG005/028
01MFG007/028
01MFG011/028
01MGF013/028
01MFG015/028 |
|
| λ/4 |
12.5
25.0
38.0
50.0
75.0
100.0 |
6
6
10
10
14
14 |
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG
LEBG |
02MFG000/028
02MFG001/028
02MFG003/028
02MFG005/028
02MFG007/028
02MFG009/028 |
|
| λ/10 |
12.5
12.5
25.0
25.0
38.0
50.0
50.0 |
6
6
6
6
10
10
10 |
LEBG
Silica
LEBG
Silica
LEBG
LEBG
Silica |
02MPG002/028
02MPQ002/028
02MPG001/028
02MPQ001/028
02MPG003/028
02MPG005/028
02MPQ005/028 |
|
| λ/20 |
12.5
12.5
12.5
25.0
25.0
25.0
50.0
50.0
50.0 |
6
6
6
6
6
6
10
10
10 |
Silica
ZERODUR
ZERODUR
Silica
ZERODUR
ZERODUR
Silica
ZERODUR
ZERODUR
|
02MLQ001/028
02MLE001/028
02MLE019/028
02MLQ003/028
02MLE003/028
02MLE021/028
02MLQ007/028
02MLE007/028
02MLE023/028 |
|
| ミラー基板を再加工すると、再加工前に比べて平面度が劣化します。
特別な寸法形状の基板で、しかもλ/10 以上の面精度を要求する場合は、特注生産になります。 |
