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オプティカルフラット

仕様

直径の公差:φ±1.0 mm
厚みの公差:t±1.0 mm
有効径:直径の80%
平面度:下記表参照(632.8 nm で有効径内での値)
材質:コーニング7740 パイレックス(α=3.2 ×10−6/℃)、合成フューズドシリカ(α=0.5 ×10−6/℃)
表面品位:60 - 40 スクラッチ&ディグ

メレスグリオのオプティカルフラットは、ナトリウムランプのような単色光源と共に用いて、他の光学素子の表面精度の評価に使用します。
  • 製品の光学材料として2 種類あり、どちらも非常に優れた透明度でフリンジがはっきりと目視可能。パイレックスは廉価な材料で1 面のみの使用に向き、合成フューズドシリカは、より精度の必要とされる両面検査用に向く。
  • 個々のフラットは、正確なフリンジパターンが得られるように、第1面をλ/20という厳しい面精度
  • 第2 面の減反射コーティングはオプションです。 1 面のみの標準面のパイレックス製品を選択して製品番号に適当なコーティング添数を付記して下さい。 コーティングオプションについては、「光学コーティング」を参照して下さい。
  • 合成フューズドシリカ製のフラットは、両面ともλ/20 の高精度に磨き上げており、パイレックス製の2倍長く使用可能
平面度 φ
(mm)
t
(mm)

材質

製品番号
第1面 第2面
λ/20
λ/20

25.0
50.0
6.0
10.0
パイレックス
パイレックス
02FPS003
02FPS007
λ/20
λ/20
λ/20
λ/20
λ/20
λ/20
λ/20
λ/20
25.0
50.0
75.0
100.0
6.0
10.0
14.0
19.0
合成フューズドシリカ
合成フューズドシリカ
合成フューズドシリカ
合成フューズドシリカ
02FQD003
02FQD007
02FQD011
02FQD015


低膨張ボロシリケートガラス(8mm厚のサンプル)の外部透過率



アプリケーションノート
オプティカルフラットによる表面検査
オプティカルフラットは、その第1 面を被験光学部品に密着させて検査します。 フラットと被験物体面との間の空隙で生じる干渉パターンは、被験物体を通して見るよりもフラットを通して観察する方がよく見えます。 干渉パターンは明るい縞(フリンジ)と暗い縞の繰り返しで、空隙の厚みの等高線を形成します。
等高線間隔(隣接する明るい縞と暗い縞の間の距離に相当)は、1/2 波長の光学距離長に対応します。 被験面が球面の場合には、フリンジのパターンから簡単に曲率半径を割り出すことができます。
このような用途には、フラットの第2 面に減反射コーティングを施すとさらに見易くなります。 フラットというものは、長年にわたって使い古されていくものですので、片面が基準面のタイプの2 倍長持ちする両面が基準面のフラットも、 メレスグリオは販売しております。

ウェッジ付きフラット

レーザーを照明光に使う場合は、ウェッジ付きフラットをお勧めします。 レーザーのコヒーレンス長がフラットの厚みよりずっと長いと、干渉効果が空隙部分に限定されなくなります。 ウェッジ付きフラットは、被験物体面とフラットの上側の面との間及びフラットの上下の面の間の干渉フリンジの発生を抑制します。

コーティング付きオプティカルフラット

標準面のみですが、特注扱いで、1/4 波長の厚みの二酸化チタンの高耐久性の高反射膜をつけることも可能です。 このオプションコーティングにより、フラットの耐久性が増すだけではなく、フィネスが相当大きくなり、 ぎらつきが減少して干渉フリンジが非常に見易くなります。 合成フューズドシリカ製フラットに1/4 波長の二酸化チタンの単層膜を付けると、0゜から60゜の入射角度に対して反射率が35%以上になります。 それに対応して相乗平均値とフリンジのシャープさも増加します。

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