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仕様
入射角：45°±3°
直径の公差：φ＋0 /−0.15 mm
厚みの公差：t±0.2 mm
面取り：通常0.5 mm ×45°の保護面取り
平行度：10秒
波面収差：λ/10（＠632.8 nm 、有効径内において）
表面品位：両面-ウルトラファインレーザー研磨、10 - 5 スクラッチ＆ディグ
有効径：直径φの90％
コーティング
第1 面：超硬または耐久高反射コーティング
第2 面：超硬または耐久減反射コーティング |
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メレスグリオのプレートビームスプリッターはレーザービームの分割、もしくは直行するビームの合成に使用します。ビームスプリッターの第1面は、入射ビームの一部を反射します。
- 両面共λ/10 またはそれより良好な平面精度で研磨
- ビームの分割または合成用として最適
- 248 〜1064 nm の全ての波長用に高耐損傷性の超硬コーティングを、193 nm には耐久コーティングを施しています。
- 後側の面に減反射コーティングを施して、内面反射によるゴーストの発生を抑制
- 製品の1 枚ごとに、実測透過率曲線を添付
プレートビームスプリッター
1064 nm用に最適化されたプレートビームスプリッター
製品の正しい向きについての注意
製品には第1 面に向かって矢印がつけられています。
次ページの図に示すように、本製品の第1 面を入射光側に向けてください。
逆にセットしますと、永久的な損傷が発生する恐れがあります。
本製品の損傷しきい値は、主に第2 面のコーティングの特性に依存します。
コーティングの耐久性
● 超硬コーティング
248 nm 用およびそれより長波長用のコーティングは、すべて超硬コーティングに分類され、
ハフニアやジルコニアのような耐食性の酸化物を用いています。
これらのコーティング材料は高温で蒸着され、通常は施された基板よりも硬質となります。
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耐久コーティング
耐久コーティングの酸化皮膜には、MI L 規格に規定される機械的硬度が備わっていませんが、
注意をすれば洗浄を行なうことができます。
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