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 アブソリュートフィゾーλ/50透過参照平面および参照平面
- 水平および垂直の配置において、λ/50 以上の参照面の面精度（632.8nmにおけるp=V値）
- 4インチおよび6インチ用の製品をご用意
- 標準のZygo®バヨネットタイプマウントに互換
- 保管用ケースと面精度のデータが付属
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メレスグリオのアブソリュート透過参照平面および参照平面により、測定時における参照波面の保存、
操作、および減算を行う事無しに、Zygo®タイプフィゾー干渉計の絶対精度をλ/50
（632.8 nm におけるP- V 値）に高める事ができます。
参照波面の減算を用いる場合には、絶対精度はλ/50（P- V ）よりも大きくなります。
メレスグリオでは、このアブソリュートフィゾー透過参照平面および参照平面の製造に、先進の磁性流体研磨法（MRF®）とスティッチング測定法
（SSI®）を用いています。
Zygo®はZygo社の登録商標です。
MRF®およびSSI®は、QED テクノロジー社の登録商標です。
仕様：アブソリュートフィゾーλ/50透過参照平面
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| 製品番号 |
09LTF400/123(口径4インチ) |
09LTF600/123(口径6インチ) |
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| 動作波長1 |
632.8nm |
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| 有効径 CA(mm) |
101.6 |
152.4 |
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| S1面の平面度2 |
λ/50(632.8nmにおけるP-V値) |
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| S1面の表面品位 |
10-5スクラッチ＆ディグ |
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| S1面のコーティング3 |
コート無し（反射率：〜4％） |
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| S2面の処理 |
V-コーティング(632.8nm用)、不要なフリンジを阻止するウェッジ処理 |
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| 硝材 |
フューズドシリカ |
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| ハウジングの材質 |
アルマイト処理されたアルミニウム |
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| マウント方式 |
Zygo®バヨネットタイプ |
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| 重量(kg) |
2.0 |
3.7 |
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1 他の波長用に最適化された参照平面もご用意できます
2 水平および垂直双方向の配置における保証値
3 部分反射コーティングを施す事もできます |
仕様：アブソリュートフィゾーλ/50参照平面
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| 製品番号 |
09LRF400(口径4インチ) |
09LRF600(口径6インチ) |
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| 動作波長 |
632.8nm |
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| 有効径 CA(mm) |
107 |
158 |
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| S1面の平面度1 |
λ/50(632.8nmにおけるP-V値) |
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| S1面の表面品位 |
10-5スクラッチ＆ディグ |
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| S1面のコーティング |
コート無し |
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| S2面の処理 |
粗摺処理 |
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| 硝材 |
フューズドシリカ |
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| ハウジングの材質 |
アルマイト処理されたアルミニウム |
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| マウント方式 |
Zygo®バヨネットタイプ |
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| 重量(kg) |
2.4 |
4.4 |
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| 1 水平および垂直双方向の配置における保証値 |
09 LTF/LRF 透過参照平面および参照平面
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