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シェアプレートコリメーションテスタ

CVIメレスグリオのシェアプレートコリメーションテスタを使用することにより、 レーザーコリメーティングシステムの発散/収束を、20 μrad (全角)以下に調整することができます。 また、このテスタは、波面の曲率の測定、波面の対称度の判定、そして長焦点距離光学素子の倍率の測定を行なうことができます。
  • テスタは、可視の波長全域に使用が可能
  • 5〜85 mmのビーム径に対応
  • M6および1/4-20のマウント用タップが備わる
  • 参照ラインに対してフリンジが平行であれば、ビームはコリメート状態である。

シェアプレートモジュールには、黒色処理されたアルミニウム製のキューブ内にマウントされた、コーティングを施されないくさび形のオプティカルフラットとコリメーティングの参照ラインを有する視認性の高いスクリーンが備わっています。拡大されたレーザービームをコリメートするには、モジュールにビームを入射し、スクリーン上のフリンジが参照ラインと並行になるようコリメータを調整します。CVIメレスグリオのシェアプレートモジュールに現れるフリンジにより、以下のようなビームの状態を判断することができます。収束ビームの場合スクリーン上のフリンジは参照ラインに対して時計回りに傾斜し、発散ビームであれば反時計回りに傾斜します。スクリーンは視認性が高く、フリンジを観察する際、周囲を暗くする必要がありません。シェアプレートは、可視の波長粋で使用することが可能です。

シェアプレート
の有効口径
(mm)
使用可能な
最小ビーム径
(mm)
フリンジの
回転感度*
(±2%)(μrad)
平行度の
分解能**
(μrad)
ハウジングの寸法(mm) 製品番号
W=D H
25
50
85
5
10
15
656
230
50
218
76
17
44.5
76.2
127.0
53.8
89.2
142.2
09SPM001
09SPM003
09SPM005
*波長632.8 nm で有効口径いっぱいのコリメート状態から、10°のフリンジの回転に対応する発散もしくは収束ビームの全角
**オペレータにより異なります


シェアプレートの原理

シェアプレートは、2 つの波面を重ね合わせる光学的な機構を持つ、非常にシンプルな干渉計です。 2 つの波面の干渉により、同位相および位相ズレの部分に対応する一連の明暗のフリンジが生じます。 シェアプレートは、ある程度の厚みを持つ、高品質のオプティカルフラットです。 波面、すなわち被検査ビームは、最大感度を得るためシェアプレートに対して45°の角度で入射します。 コーティングされていない表面と裏面からは、強度がほぼ等しい反射が生じます。 この反射した波面は、プレートの厚みによって互いにオフセットし、波面の重なり合った部分に干渉が起こります。



参照ラインに対するフリンジの方向


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