駆動範囲（X 、Y 軸、最大）：1,070 ×1,065 mm
分解能：1 μm
繰り返し精度：±1 μm
ピッチング：±0.003 °
ヨーイング：±0.02 °
XY 軸の直角度
：＜20μm（500 mmにおいて）
最大速度：1 m/sec （負荷に依存）
最大加速度：1 G（負荷に依存）
最大推力：50 N
最大負荷荷重*：＋50 kg / −50 kg
ドライバユニットと
外部PCとのインターフェース：USB
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電源入力
電源電圧：100 VAC
周波数：50 / 60 Hz
消費電力：300 W
寸法（W ×D ×H ）
ベース部：400 ×400 ×100 mm （最小）
1,300 ×1,300 ×100 mm （最大）
プラテン部**：300 ×300 ×100 mm （最小）
1,200 ×1,200 ×100 mm （最大）
モータースライダ：130 ×135 ×25 mm
ドライバユニット：430×330×211 mm
環境仕様：
動作温度範囲：10 〜40 ℃
動作湿度：＜75％
保管温度範囲：0 〜50 ℃
*最大負荷荷重の−50 kg の値は、ステージを裏返しで使用する際の荷重です。
**プラテンの寸法は、100 mm 刻みで指定してください。 |
