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材質
平面度
表面品位
寸法公差
角度公差
面取り
有効寸法
損傷しきい値
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Suprasil 1、UV グレード フューズドシリカ、またはSF10
ガラス
λ/10(@633 nm)
10-5 スクラッチ&ディグ(Suprasil 1 および
UV グレード フューズドシリカの場合)
30-10 スクラッチ&ディグ
(LaFN28、LaKL21、およびSF10 ガラスの場合)
+0/−0.25 nm
±2 分
0.35 mm 、45°標準
中心の85 % 以上
Suprasil 1 :15 J/cm2、20 nsec、20 Hz(@1064 nm)
フューズドシリカ :15 J/cm2、20 nsec、20 Hz(@1064 nm)
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